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适用于带Ring的晶圆
带Ring的4、6、8、12寸晶圆
可选1.5X/2x/2.5x/5x/10x/20x，可装4种倍率镜头、自动切换
明暗场独立光源配置，可选择多种颜色
每像素 3μm/1.5X，2.25μm/2X，1.8μm/2.5X，0.9μm/5x，0.45μm/10x
2×2 像素
可选配
有
高精度双手臂模组
支持
3mm
凸块偏移、芯片偏移、连线断路、裂纹、划伤、脏污、腐蚀、Bμmp高度等
以8'晶圆片计算，2x(2.25μm/Pix)≥60-90；5x(0.9μm/Pix)≥28-40；10x(0.45μm/Pix)≥10-20.
6小时
Class 100
有
支持自动聚焦模式，保证大翘曲晶圆的检测精度；
支持多ROI、多图层的分区检测。
支持
具备数据统计分析功能，支持与客户MES系统数据对接
2395(L)x1725.5(W)x2267(H)mm
您可以通过右侧方式联系我们，我们将指派专业的顾问为您定制产品解决方案。
0755-89318001
